Giám sát viện thành lập tháng 2 năm 1931, kế nhiệm Thẩm kế viện (chữ Hán phồn thể: 審計院), hạ cấp thành bộ vào kết hợp vào Giám sát viện.[1]

Trung Quốc vương triều

Ý tưởng thành lập Giám sát viện bắt nguồn từ truyền thống giám sát của các vương triều trước, như Ngự sử do Nhà Tần và Hán thành lập, Đài và Gián của nhà Tùy và Đường (đài giám sát văn quan quân quan, gián khuyên bảo Hoàng đế về vấn đề giám sát) và Đô sát viện của nhà Minh và Thanh. Hầu hết các cơ quan này có nhánh địa phương và tỉnh để giám sát chính quyền địa phương.

Dưới thời nhà Thanh, Đô sát viện bao gồm 40 hay 50 thành viên và hai viện trưởng, một là người Mãn, một người Hán.[2][3] Hai người, theo lý thuyết, được gửi một Đô sát viên tham dự phiên họp của mọi cơ quan chính phủ, đến khi thời kỳ loạn lạc chính trị trước khi Đế quốc kết thúc thì quyền hành của Đô sát viện đã giảm thiểu.

Trung Quốc cộng hòa

Ý tưởng giám sát, thẩm kế chính phủ cộng hòa, Tôn Trung Sơn lấy làm một trong năm nhánh của chính phủ khi có chân trong Đồng minh hội, sau khi chính phủ cộng hòa lâm thời thành lập, ba nhánh truyền thống tổ chức, đến 1928 thì Giám sát cùng Khảo thí viện được chính phủ lâm thời thành lập. Có Thẩm kế viện thứ sáu thành lập tháng 2 năm 1928, nhưng vào tháng 2 năm 1931 thì hạ cấp xuống Thẩm kế bộ kết hợp vào Giám sát viện.

Giám sát viện khóa thứ nhất do hội đồng tỉnh, huyện, Mông Cổ, Tây Tạng và kiều chính bầu và chính thức triệu tập năm 1948 sau khi Hiến pháp 1947 ban hành, hầu hết các nhánh của Giám sát viện đóng cửa sau khi Quốc dân đảng rút lui về Đài Loan từ đại lục.

Đài Loan

Năm 1992, cách thức chọn thành viên Giám sát viện được tu chính án hiến pháp thay đổi, hội đồng địa phương bầu thay bằng Tổng thống bổ nhiệm có Quốc hội đồng ý, khi Quốc hội bị bãi bỏ năm 2000 thì việc đồng ý do Lập pháp viện đảm nhiệm.

Cuối năm 2004, Tổng thống Trần Thủy Biển gửi danh sách ứng viên Giám sát viện đến Lập pháp viện cho đồng ý, Liên minh phiếm lam, đương thời có đa số trong Lập pháp viện, từ chối phê chuẩn danh sách của và yêu cầu nộp danh sách mới. Bế tắc chính trị đình chỉ Giám sát viện từ tháng 2 năm 2005 đến tháng 7 năm 2008, sau khi Tổng thống Mã Anh Cửu của Liên minh phiếm lam đắc cử thì Lập pháp viện phê chuẩn danh sách ứng viên và Vương Kiến Huyên bổ nhiệm làm Viện trưởng.